該儀器針對藍寶石晶錠需對A、C、R、M向等多角度進(jìn)行測量定向粘結而研發(fā)設計的,而且對硅單晶,砷化鎵等晶體角度均可測量定向粘結,不但解決了大尺寸晶體不能一機測量定向多角度的難題,而且綜合精度為±30″,確保晶體測量,定向粘結的準確性。是國內目前先進(jìn)的機電光一體化的新產(chǎn)品。
該儀器上下升降系統,前后上料系統及衍射測量系統均由步進(jìn)電機驅動(dòng),操作簡(jiǎn)單,先進(jìn)的PLC程序穩定可靠,故障率低可長(cháng)時(shí)間連續無(wú)故障運行,多點(diǎn)傳感器限位裝置增加了穩定性。設備的專(zhuān)用二維夾具調整范圍為±4度,可有效滿(mǎn)足300kg以?xún)染уV的粘接定向,操作者可以很容易調整出所測量定向的角度,特制對稱(chēng)鎖緊裝置可避免切割或掏棒引起的夾具松動(dòng)。360度旋轉復檢一鍵完成方便準確,有效的減輕了操作者的工作強度,從而減少了單件晶錠定向的時(shí)間,提高了生產(chǎn)率。
采用高精度歐姆龍編碼器記錄衍射角度,并通過(guò)觸摸屏顯示,同時(shí)也實(shí)時(shí)顯示回轉工作臺的旋轉角度。對多個(gè)角度可自動(dòng)定向,減少人為誤差,提高檢測效率。